“从价格看，EUV 系统会比低数值孔径（low-NA）系统更贵，但在某些先进层上用这台设备制造晶圆的成本会更低。我们可以实现 20%、30% 的成本下降。”
2026-05-05
2 条发言
“很多人问我，它是在这个月、下个月还是再下个月推出。我通常说，这并不重要，因为我们设计高数值孔径（high-NA）时着眼的是未来 10 年、20 年。”
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“从价格看，EUV 系统会比低数值孔径（low-NA）系统更贵，但在某些先进层上用这台设备制造晶圆的成本会更低。我们可以实现 20%、30% 的成本下降。”
“很多人问我，它是在这个月、下个月还是再下个月推出。我通常说，这并不重要，因为我们设计高数值孔径（high-NA）时着眼的是未来 10 年、20 年。”